由于露點儀運用了增益回歸，零點自動校準，溫濕度傳感器三種技術，從而在低濕或者腐蝕化學物質氣體分子的環境下，露點儀也能準確地丈量出相對濕度，并且計算出對應的露點。在丈量高于負60度的露點時露點儀的精度保在正負2度以內，精度稍低時，露點儀可抵達-80度的露點。

現今丈量露點普遍采用的方法有三種：

一種，在測濕范疇有60年的理論閱歷，其應用聚合物薄膜開發的特地用于丈量低露點的傳感器性能穩定，不受凝結水、大多數化學物質的影響，并且由于運用的露點儀采用了零點自動校準，增益回歸兩項技術使得露點丈量范圍寬，精度高，長期穩定性好，性價比佳。

二種，冷鏡法，金屬氧化物法和聚合物法。冷鏡法可以在很寬的丈量范圍內取得較高的精度，但由于它的光學丈量原理的局限性使其易受鏡面污染物和灰塵的影響從而影響精度并且不易區分霜點及露點，為抑制上述缺陷，丈量系統常常附加許多額外設備鏡面清洗、防護等功用，構成整套設備比較昂貴，此種丈量方法常常用于精度懇求高且具有良好的操作、維護的條件，照實驗室，關于大多數在線丈量則維護本錢較高。

三種，金屬氧化物傳感器，包括AL2O3傳感器用于工業過程控制中的低露點丈量，正確運用時可以測得很低的露點，缺陷是長期穩定性差，由于測濕敏器件本身構成的漂移使得頻繁的標定工作不可少，傳感器不能在線標定，大多數情況下要送到原廠標定且標定本錢較高，這將會影響日后的準確丈量、正常消費，增大維護、工作量，而且金屬氧化物傳感器在高濕或冷凝的情況下一旦受損，其功用將無法恢復。

溫濕度傳感器由兩部分組成：電容型聚合物薄膜測濕傳感器及電阻型測溫傳感器，測濕傳感器丈量被測氣體中的水分子，從而測出相對濕度;測溫傳感器丈量測濕傳感器的表面濕度，儀器內置的微處置從這兩個參數計算出露點。測濕、測溫傳感器經過金屬膜背靠背緊密靠近，這樣一方面使得測溫傳感器能夠準確測得濕度傳感器所處溫度，另一方面經過金屬膜的作用大大減小了由于外部電場作用產生的感應電容，從而進步了丈量精度，在低濕情況下，反響時間為40-240秒，取決于濕度變化方向和大小，丈量高濕時反響時間較短。耐溫范圍為-40-+180度，承壓范圍為0-20bar.其本身耐腐蝕性也突出，關于堿性和弱酸性氣體有較好的順應，通常在低濕的情況下，相對薄膜濕敏傳感器要+2度的露點精度所能測得的低露點為-9度，應用Vaisal的傳感器及自動校準技術，在保+2度露點溫度精度的同時可測得的低露點為-60度，在精度稍低的情況下可抵達-80度的露點。

這是由于自校準技術使得準確的相對濕度丈量成為可能。在自校準過程中，測溫電阻將探頭加溫到高于環境溫度10度后自然冷卻，在冷卻過程中儀器丈量實時溫度和相對濕度。從公式RH=RH0+PW/PWS中(其中RH為儀器丈量值。RH0為直線在Y軸上截距。PW為此刻待測氣體中水氣分壓，假定是定值。PWS為飽和水氣壓值。1/PWS為、溫度的函數)可見由幾組不同溫度時的RH、1/PWS值可推出一擬合直線，并推出該擬合直線在Y軸上的截距RH?即溫度無量高時，傳感器所測相對溫度偏移開零點的值。