市面上溫濕度變送器HF3常用的濕敏元件通常是電阻式和電容式的濕敏電阻和濕敏電容，濕敏電阻是在導電電極陶瓷襯底涂敷一層高分子感濕膜，與空氣中相對濕度變化導致電阻系數變化原理，其特點為精度高，穩定性好，響應快，互換性較濕敏電阻差些；濕敏電容則主要采用高分子薄膜電容制成，當環境相對濕度發生改變時，濕敏電容的介電常數發生變化，電容變化量與相對濕度成正比關系。它的主要特點是互換性好，高靈敏度，響應速度快，濕滯小，線性度好，精度相對濕敏電阻要低一些。因濕敏元件的線性度與抗污染性較差，在進行濕度傳感器檢測時，一般就避免觸碰感濕元件，以防污染及劃傷感濕膜，焊接時溫度不能過高，盡量避免鹽霧、二氧化硫、鹽酸、強堿、有機溶劑等具有強氧化氣體的環境中使用，濕敏元件不宜長期暴露在待測環境中，易被污染而影響其測量精度和產品的長期穩定性。